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等离子去胶渣机

产品功能

可进行去胶渣、表面清洁、活化、改善、接枝或粗糙化等。

详细介绍

产品特点

高密度等离子源,等离子效率高,减少制程时间;

专利设计之特殊等离子电极;

特殊之气体进气、扩散及抽气系统设计;

处理之均匀性佳;

等离子均匀性佳;

可使用多种制程气体;

全自动且容易操作;

设备稳定高,容易维护;

可根据客户需求设计专用特殊规格之机台。

相关解决方案

PCB、FPC/PCB, FPC, etc.

印刷或黏着前之表面粗化或清洁。        

项目

PD06

机台尺寸

2000(W)*2100(D)*2626(H)mm

腔体尺寸

1100(W)*1480(D)*1220(H)mm

腔体材质

不锈钢体+铝腔体门

电极

水冷电极

处理能力

PCB: 28片(20"*24"),可移动式夹具

电源供应器

10KWatts

流量计

标准四颗(N2, O2, CF4, Ar) 选配一颗

压力计

760~10-3torr

真空帮浦

干式帮浦+鲁式帮浦

冰水机


温度监测系统


台车



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